Acoperire cu carbură de tantal

VeTek semiconductor este un producător de frunte de materiale de acoperire cu carbură de tantal pentru industria semiconductoarelor. Principalele noastre oferte de produse includ piese de acoperire cu carbură de tantal CVD, piese de acoperire TaC sinterizate pentru creșterea cristalelor de SiC sau proces de epitaxie a semiconductorilor. A trecut ISO9001, VeTek Semiconductor are un control bun asupra calității. VeTek Semiconductor este dedicat să devină inovator în industria acoperirii cu carbură de tantal prin cercetarea și dezvoltarea continuă a tehnologiilor iterative.

Principalele produse suntInel de ghidare acoperit cu TaC, Inel de ghidare cu trei petale acoperit cu CVD TaC, Carbură de tantal TaC acoperit Halfmoon, CVD TaC acoperire susceptor epitaxial planetar SiC, Inel de acoperire cu carbură de tantal, Grafit poros acoperit cu carbură de tantal, Susceptor de rotație a acoperirii TaC, Inel din carbură de tantal, Placă de rotație a acoperirii TaC, Susceptor de plachetă acoperit cu TaC, Inel deflector acoperit cu TaC, Capac de acoperire CVD TaC, Mandrină acoperită cu TaCetc., puritatea este sub 5 ppm, poate satisface cerințele clienților.

Grafitul de acoperire cu TaC este creat prin acoperirea suprafeței unui substrat de grafit de înaltă puritate cu un strat fin de carbură de tantal printr-un proces brevetat de depunere chimică în vapori (CVD). Avantajul este prezentat în imaginea de mai jos:

Excellent properties of TaC coating graphite

Acoperirea cu carbură de tantal (TaC) a atras atenția datorită punctului său de topire ridicat de până la 3880°C, rezistenței mecanice excelente, durității și rezistenței la șocuri termice, făcându-l o alternativă atractivă la procesele de epitaxie cu semiconductor compus cu cerințe de temperatură mai ridicate, cum ar fi sistemul Aixtron MOCVD și procesul de epitaxie LPE SiC. Are, de asemenea, o aplicație largă în procesul de creștere a cristalelor din metoda PVT SiC.

Caracteristici cheie:

●Stabilitatea temperaturii

●Puritate ultra înaltă

●Rezistenta la H2, NH3, SiH4, Si

●Rezistenta la stoc termic

●Aderență puternică la grafit

●Acoperire de acoperire conformă

● Dimensiune până la 750 mm diametru (Singurul producător din China atinge această dimensiune)

Aplicații:

●Purtător de napolitane

● Susceptor de încălzire inductiv

● Element de încălzire rezistiv

●Disc satelit

●Cap de dus

●Inel de ghidare

●Receptor LED Epi

●Duza de injectie

●Inel de mascare

● Scut termic

Acoperire cu carbură de tantal (TaC) pe o secțiune transversală microscopică:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parametrul acoperirii cu carbură de tantal VeTek Semiconductor:

Proprietățile fizice ale acoperirii cu TaC
Densitate	14,3 (g/cm³)
Emisivitate specifică	0.3
Coeficientul de dilatare termică	6.3 10^-6/K
Duritate (HK)	2000 HK
Rezistenţă	1×10^-5Ohm*cm
Stabilitate termică	<2500℃
Dimensiunea grafitului se modifică	-10~-20um
Grosimea acoperirii	≥20um valoare tipică (35um±10um)

Date EDX de acoperire TaC：

EDX data of TaC coating

Datele structurii cristalului de acoperire cu TaC:

Element	Procent atomic
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Medie
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

Mandrina de acoperire TaC TaC acoperire disc planetar
Placă acoperită cu TaC Placă de rotație a acoperirii TaC Receptor de acoperire TaC Acoperire cu acoperire CVD TaC Inel de acoperire CVD TaC Placă de acoperire TaC

View as

Inel cu trei petale acoperit cu TaC

VeTek Semiconductor este un producător și inovator de inele cu trei petale acoperite cu TaC în China. Suntem specializați în acoperirea TaC și SiC de mulți ani. Produsele noastre au o rezistență la coroziune, o rezistență ridicată. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China. Bine ați venit să vă consultați în orice moment.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Tantalum acoperit cu carbură

Vetek Semiconductor este un lider de producător de Chuck și inovator acoperit cu carbură de tantal. Am fost specializați în acoperirea TAC timp de mai mulți ani. Produsele noastre au o rezistență ridicată și la temperatură ridicată până la 2000.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Capac acoperit cu carbură tantalică

Vetek Semiconductor este un producător de acoperire acoperit cu carbură și inovator acoperit cu carbură de tantal. Am fost specializați în acoperire TAC și SIC timp de mai mulți ani. Produsele noastre au o rezistență la coroziune, o rezistență ridicată. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dvs. pe termen lung în China. Bine ați venit să consultați în orice moment.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Grafit Ultra Pure Halfmoon inferior

Vetek Semiconductor este un furnizor principal de haldă de grafit ultra pur personalizat în China, specializată în materiale avansate timp de mai mulți ani. Half -hoon -ul nostru inferior de grafit ultra pur este conceput special pentru echipamentele epitaxiale SIC, asigurând performanțe excelente. Fabricat din grafit importat ultra-pure, oferă fiabilitate și durabilitate. Vizitați fabrica noastră din China pentru a explora Firsthand Halfmoon, de înaltă calitate, de înaltă calitate, de înaltă calitate, să vă consultați în orice moment.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Partea superioară a jumătății de timp de sic acoperită

Vetek Semiconductor este un furnizor principal de partea SIC personalizată de jumătate de lună superioară acoperită în China, specializată în materiale avansate de peste 20 de ani. Vetek Semiconductor Superior Halfmoon Part SiC Coated este proiectat special pentru echipamentele epitaxiale SIC, servind ca o componentă crucială în camera de reacție. Fabricat din grafit ultra-pure, cu grad de semiconductor, asigură performanțe excelente. Vă invităm să vizitați fabrica noastră din China. Bine ați venit să consultați în orice moment.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Purtător de wafer epitaxie din siliciu

Vetek Semiconductor este un principal furnizor de transportatori de wafer din carbură de siliciu personalizat din China. Am fost specializați în materiale avansate mai mult de 20 de ani. Oferim un purtător de epitaxie de epitaxie din siliciu pentru transportul substratului SIC, creșterea stratului de epitaxie SIC în reactorul epitaxial sic. Acest purtător de placă de epitaxie din carbură de siliciu este o parte importantă acoperită cu SIC din partea de jumătate de lună, rezistență la temperatură ridicată, rezistență la oxidare, rezistență la uzură. Vă întâmpinăm să vizitați fabrica noastră din China. Bine ați venit să consultați în orice moment.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

În calitate de profesionist Acoperire cu carbură de tantal producător și furnizor în China, avem propria noastră fabrică. Indiferent dacă aveți nevoie de servicii personalizate pentru a răspunde nevoilor specifice ale regiunii dvs. sau doriți să cumpărați avansați și durabil Acoperire cu carbură de tantal realizat în China, ne puteți lăsa un mesaj.

Cod QR

Despre noi

Produse

Contactaţi-ne

Telefon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Abordare
Drumul Wangda, strada Ziyang, județul Wuyi, orașul Jinhua, provincia Zhejiang, China

Meniul Web

Căutare produs

Limba

Ieșiți din meniu

Acoperire cu carbură de tantal

Caracteristici cheie:

Aplicații:

Acoperire cu carbură de tantal (TaC) pe o secțiune transversală microscopică:

Parametrul acoperirii cu carbură de tantal VeTek Semiconductor:

Date EDX de acoperire TaC：

Datele structurii cristalului de acoperire cu TaC:

Inel cu trei petale acoperit cu TaC

Tantalum acoperit cu carbură

Capac acoperit cu carbură tantalică

Grafit Ultra Pure Halfmoon inferior

Partea superioară a jumătății de timp de sic acoperită

Purtător de wafer epitaxie din siliciu

Trimite o anchetă

Cod QR

Despre noi

Produse

Contactaţi-ne

Telefon

Fax

E-mail

Abordare