încălzitor de acoperire ceramică din carbură de siliciu

SemiconductorÎncălzitorul de acoperire din ceramică din carbură de siliciu este un încălzitor conceput pentru temperaturi ridicate și medii dure. Acesta acoperă un strat de acoperire ceramică din carbon de siliciu (SIC) pe suprafața elementului de încălzire pentru a oferi echipamentului rezistență excelentă la căldură, rezistență la coroziune și conductivitate termică. 

Încălzitor de acoperire ceramică din carbură de siliciueste utilizat în principal în echipamentele de acoperire cu vid (evaporare). Metodele utilizate frecvent sunt PCD (uscare chimică plasmatică) și PVD (depunere de vapori fizici), care sunt utilizate pe scară largă în fabricarea semiconductorilor și în alte aplicații industriale cu cerere mare.

Combinat cu designul de acoperire de înaltă performanță a încălzitorului de acoperire ceramică din carbură de siliciu,Poate oferi o soluție excelentă de încălzire pentru procesele de temperatură ridicată.

Conductivitate termică excelentă: Materialul SIC are o conductivitate termică excelentă, asigurându -se că încălzitorul poate obține o distribuție uniformă a căldurii în zona de lucru și poate reduce gradienții de temperatură.

Oferiți o distribuție uniformă a căldurii: Încălzitorul de acoperire ceramică din carbură de siliciu folosește conductivitatea termică ridicată a materialului SIC pentru a obține o distribuție uniformă a temperaturii în toată zona de încălzire. Acest lucru este esențial pentru a asigura o tratare termică uniformă a napolitanelor cu semiconductor în diferite procese de temperatură ridicată, cum ar fi procesarea termică rapidă (RTP), difuzarea și oxidarea, evitând defectele produsului cauzate de supraîncălzirea locală sau temperatura inegală.

Toleranță la temperatură ridicată: Acoperirea SIC permite încălzitorului să reziste la temperaturi extrem de ridicate, de obicei până la 1600 ° C, adecvate pentru diverse procese de procesare la temperaturi ridicate.

Îmbunătățiți rezistența la căldură: Deoarece acoperirea poate rezista la temperaturi extrem de ridicate, se comportă bine în procesele care necesită o funcționare pe termen lung la temperatură. De exemplu, în procesele de depunere a vaporilor chimici (CVD), încălzitorul de acoperire ceramică din carbură de siliciu poate asigura funcționarea stabilă pe termen lung a echipamentului la temperaturi ridicate și menține performanțe de încălzire constante, îmbunătățind astfel repetabilitatea și fiabilitatea procesului.

Rezistență la coroziune chimică: Acoperirea SIC are o rezistență extrem de ridicată la acid, alcalin și gaze corozive și poate rămâne stabilă mult timp într -un mediu complex de atmosferă chimică, prelungind durata de viață a echipamentului. 

Prelungind durata de viață a echipamentului: Acoperirea SIC are o rezistență excelentă la oxidare și o rezistență la coroziune și poate rezista efectiv la eroziunea și oxidarea chimică la temperaturi ridicate. Acest lucru este foarte critic în procesul de fabricație a semiconductorilor, în special într -un mediu care gestionează gazele și substanțele chimice corozive. Efectul de protecție al acoperirii poate prelungi semnificativ durata de viață a încălzitorului și poate reduce frecvența costurilor de înlocuire și întreținere a echipamentelor.

Proprietăți fizice de bază ale încălzitorului de acoperire ceramică din carbură de siliciu:

Vetek Semiconductor Silicon Carbide Ceramic Acoperire Ceramică:

Prezentare generală a lanțului industriei de epitaxie cu semiconductor vetek: