Acoperire cu carbură de tantal

VeTek semiconductor este un producător de frunte de materiale de acoperire cu carbură de tantal pentru industria semiconductoarelor. Principalele noastre oferte de produse includ piese de acoperire cu carbură de tantal CVD, piese de acoperire TaC sinterizate pentru creșterea cristalelor de SiC sau proces de epitaxie a semiconductorilor. A trecut ISO9001, VeTek Semiconductor are un control bun asupra calității. VeTek Semiconductor este dedicat să devină inovator în industria acoperirii cu carbură de tantal prin cercetarea și dezvoltarea continuă a tehnologiilor iterative.

Principalele produse suntInel de ghidare acoperit cu TaC, Inel de ghidare cu trei petale acoperit cu CVD TaC, Carbură de tantal TaC acoperit Halfmoon, CVD TaC acoperire susceptor epitaxial planetar SiC, Inel de acoperire cu carbură de tantal, Grafit poros acoperit cu carbură de tantal, Susceptor de rotație a acoperirii TaC, Inel din carbură de tantal, Placă de rotație a acoperirii TaC, Susceptor de plachetă acoperit cu TaC, Inel deflector acoperit cu TaC, Capac de acoperire CVD TaC, Mandrină acoperită cu TaCetc., puritatea este sub 5 ppm, poate satisface cerințele clienților.

Grafitul de acoperire cu TaC este creat prin acoperirea suprafeței unui substrat de grafit de înaltă puritate cu un strat fin de carbură de tantal printr-un proces brevetat de depunere chimică în vapori (CVD). Avantajul este prezentat în imaginea de mai jos:

Excellent properties of TaC coating graphite

Acoperirea cu carbură de tantal (TaC) a atras atenția datorită punctului său de topire ridicat de până la 3880°C, rezistenței mecanice excelente, durității și rezistenței la șocuri termice, făcându-l o alternativă atractivă la procesele de epitaxie cu semiconductor compus cu cerințe de temperatură mai ridicate, cum ar fi sistemul Aixtron MOCVD și procesul de epitaxie LPE SiC. Are, de asemenea, o aplicație largă în procesul de creștere a cristalelor din metoda PVT SiC.

Caracteristici cheie:

●Stabilitatea temperaturii

●Puritate ultra înaltă

●Rezistenta la H2, NH3, SiH4, Si

●Rezistenta la stoc termic

●Aderență puternică la grafit

●Acoperire de acoperire conformă

● Dimensiune până la 750 mm diametru (Singurul producător din China atinge această dimensiune)

Aplicații:

●Purtător de napolitane

● Susceptor de încălzire inductiv

● Element de încălzire rezistiv

●Disc satelit

●Cap de dus

●Inel de ghidare

●Receptor LED Epi

●Duza de injectie

●Inel de mascare

● Scut termic

Acoperire cu carbură de tantal (TaC) pe o secțiune transversală microscopică:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parametrul acoperirii cu carbură de tantal VeTek Semiconductor:

Proprietățile fizice ale acoperirii cu TaC
Densitate	14,3 (g/cm³)
Emisivitate specifică	0.3
Coeficientul de dilatare termică	6.3 10^-6/K
Duritate (HK)	2000 HK
Rezistenţă	1×10^-5Ohm*cm
Stabilitate termică	<2500℃
Dimensiunea grafitului se modifică	-10~-20um
Grosimea acoperirii	≥20um valoare tipică (35um±10um)

Date EDX de acoperire TaC：

EDX data of TaC coating

Datele structurii cristalului de acoperire cu TaC:

Element	Procent atomic
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Medie
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

Mandrina de acoperire TaC TaC acoperire disc planetar
Placă acoperită cu TaC Placă de rotație a acoperirii TaC Receptor de acoperire TaC Acoperire cu acoperire CVD TaC Inel de acoperire CVD TaC Placă de acoperire TaC

View as

Inel de acoperire TaC

TaC Coating Ring este o componentă de înaltă performanță concepută pentru utilizarea în procesele semiconductoare, VeTek semiconductor TaC Coating Ring are stabilitate termică ridicată, rezistență la coroziune chimică și o rezistență mecanică excelentă și este utilizat în mod special pentru a ține și susține napolitanele SiC în timpul procesului de gravare, unde controlul precis și durabilitatea sunt esențiale pentru obținerea de napolitane de înaltă calitate. aşteptăm cu nerăbdare consultarea dumneavoastră ulterioară.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Creuzet de acoperire TAC

În calitate de furnizor și producător profesionist de acoperire TAC în China, creuzetul de acoperire TAC Vetek Semiconductor joacă un rol de neînlocuit în procesul de creștere a semiconductorilor cu un singur cristal, cu conductivitatea termică excelentă, stabilitatea chimică remarcabilă și rezistența la coroziune sporită. Bine ați venit la întrebările dvs. suplimentare.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Inel de ghid acoperit cu carbură tantalum

În calitate de furnizor și producător de inele de ghidare TaC lider în China, inelul de ghidare acoperit cu carbură de tantal VeTek Semiconductor este o componentă importantă folosită pentru a ghida și optimiza fluxul de gaze reactive în metoda PVT (Physical Vapor Transport). Promovează depunerea uniformă a monocristalelor de SiC în zona de creștere prin ajustarea distribuției și vitezei fluxului de gaz. VeTek Semiconductor este un producător și furnizor de top de inele de ghidare de acoperire TaC în China și chiar în lume și așteptăm cu nerăbdare consultarea dumneavoastră.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Grafit poros acoperit cu carbură de tantalum

Grafitul poros acoperit cu carbură de tantalum este un produs indispensabil în procesul de procesare a semiconductorilor, în special în procesul de creștere a cristalelor SIC. După investiții continue în cercetare și dezvoltare și îmbunătățiri tehnologice, Calitatea produsului de grafit Porous Grafit, acoperită cu semiconductor Vetek, a câștigat laude ridicate din partea clienților europeni și americani. Bine ați venit la consultarea dvs. ulterioară.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

CVD TaC acoperire susceptor epitaxial planetar SiC

CVD TAC Acoperirea Susceptorului epitaxial SiC Planetar este unul dintre componentele de bază ale reactorului planetar MOCVD. Prin intermediul Susceptorului epitaxial SiC de acoperire TAC CVD, orbitele pe disc mare și discul mic se rotește, iar modelul de flux orizontal este extins la mașini cu mai multe cipuri, astfel încât să aibă atât gestionarea uniformității de undă epitaxială de înaltă calitate, cât și optimizarea defectului de unic -Chip Machines și Avantajele costurilor de producție ale mașinilor multi-chip.Vetek Semiconductor pot oferi clienților un susceptor epitaxial SIC Epitaxial Planetar. Dacă doriți, de asemenea, să faceți un cuptor planetar MOCVD precum Aixtron, veniți la noi!

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Inel acoperit cu TAC

În calitate de producător de lider și furnizor de produse cu inel acoperit TAC în China, Vetek Semiconductor s -a concentrat pe cercetarea și dezvoltarea și producerea diferitelor produse de acoperire TAC. În calitate de clienți principali ai produselor de acoperire TAC, producătorii europeni și americani au dat o laudă ridicată produselor noastre de acoperire. Bine ați venit la consultarea dvs. ulterioară.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

În calitate de profesionist Acoperire cu carbură de tantal producător și furnizor în China, avem propria noastră fabrică. Indiferent dacă aveți nevoie de servicii personalizate pentru a răspunde nevoilor specifice ale regiunii dvs. sau doriți să cumpărați avansați și durabil Acoperire cu carbură de tantal realizat în China, ne puteți lăsa un mesaj.

Cod QR

Despre noi

Produse

Contactaţi-ne

Telefon
+86-15988690905
Fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Abordare
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang Province, China

Meniul Web

Căutare produs

Limba

Ieșiți din meniu

Acoperire cu carbură de tantal

Caracteristici cheie:

Aplicații:

Acoperire cu carbură de tantal (TaC) pe o secțiune transversală microscopică:

Parametrul acoperirii cu carbură de tantal VeTek Semiconductor:

Date EDX de acoperire TaC：

Datele structurii cristalului de acoperire cu TaC:

Inel de acoperire TaC

Creuzet de acoperire TAC

Inel de ghid acoperit cu carbură tantalum

Grafit poros acoperit cu carbură de tantalum

CVD TaC acoperire susceptor epitaxial planetar SiC

Inel acoperit cu TAC

Trimite o anchetă

Cod QR

Despre noi

Produse

Contactaţi-ne

Telefon

Fax

E-mail

Abordare