Acoperire cu carbură de tantal

VeTek semiconductor este un producător de frunte de materiale de acoperire cu carbură de tantal pentru industria semiconductoarelor. Principalele noastre oferte de produse includ piese de acoperire cu carbură de tantal CVD, piese de acoperire TaC sinterizate pentru creșterea cristalelor de SiC sau proces de epitaxie a semiconductorilor. A trecut ISO9001, VeTek Semiconductor are un control bun asupra calității. VeTek Semiconductor este dedicat să devină inovator în industria acoperirii cu carbură de tantal prin cercetarea și dezvoltarea continuă a tehnologiilor iterative.

Principalele produse suntInel de ghidare acoperit cu TaC, Inel de ghidare cu trei petale acoperit cu CVD TaC, Carbură de tantal TaC acoperit Halfmoon, CVD TaC acoperire susceptor epitaxial planetar SiC, Inel de acoperire cu carbură de tantal, Grafit poros acoperit cu carbură de tantal, Susceptor de rotație a acoperirii TaC, Inel din carbură de tantal, Placă de rotație a acoperirii TaC, Susceptor de plachetă acoperit cu TaC, Inel deflector acoperit cu TaC, Capac de acoperire CVD TaC, Mandrină acoperită cu TaCetc., puritatea este sub 5 ppm, poate satisface cerințele clienților.

Grafitul de acoperire cu TaC este creat prin acoperirea suprafeței unui substrat de grafit de înaltă puritate cu un strat fin de carbură de tantal printr-un proces brevetat de depunere chimică în vapori (CVD). Avantajul este prezentat în imaginea de mai jos:

Excellent properties of TaC coating graphite

Acoperirea cu carbură de tantal (TaC) a atras atenția datorită punctului său de topire ridicat de până la 3880°C, rezistenței mecanice excelente, durității și rezistenței la șocuri termice, făcându-l o alternativă atractivă la procesele de epitaxie cu semiconductor compus cu cerințe de temperatură mai ridicate, cum ar fi sistemul Aixtron MOCVD și procesul de epitaxie LPE SiC. Are, de asemenea, o aplicație largă în procesul de creștere a cristalelor din metoda PVT SiC.

Caracteristici cheie:

●Stabilitatea temperaturii

●Puritate ultra înaltă

●Rezistenta la H2, NH3, SiH4, Si

●Rezistenta la stoc termic

●Aderență puternică la grafit

●Acoperire de acoperire conformă

● Dimensiune până la 750 mm diametru (Singurul producător din China atinge această dimensiune)

Aplicații:

●Purtător de napolitane

● Susceptor de încălzire inductiv

● Element de încălzire rezistiv

●Disc satelit

●Cap de dus

●Inel de ghidare

●Receptor LED Epi

●Duza de injectie

●Inel de mascare

● Scut termic

Acoperire cu carbură de tantal (TaC) pe o secțiune transversală microscopică:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parametrul acoperirii cu carbură de tantal VeTek Semiconductor:

Proprietățile fizice ale acoperirii cu TaC
Densitate	14,3 (g/cm³)
Emisivitate specifică	0.3
Coeficientul de dilatare termică	6.3 10^-6/K
Duritate (HK)	2000 HK
Rezistenţă	1×10^-5Ohm*cm
Stabilitate termică	<2500℃
Dimensiunea grafitului se modifică	-10~-20um
Grosimea acoperirii	≥20um valoare tipică (35um±10um)

Date EDX de acoperire TaC：

EDX data of TaC coating

Datele structurii cristalului de acoperire cu TaC:

Element	Procent atomic
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Medie
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

Mandrina de acoperire TaC TaC acoperire disc planetar
Placă acoperită cu TaC Placă de rotație a acoperirii TaC Receptor de acoperire TaC Acoperire cu acoperire CVD TaC Inel de acoperire CVD TaC Placă de acoperire TaC

View as

Tub de acoperire TAC

Tubul de acoperire TAC Vetek Semiconductor este o componentă cheie pentru creșterea cu succes a cristalelor unice din carbură de siliciu. Cu rezistența sa la temperatură ridicată, inerția chimică și performanțele excelente, care asigură producerea de cristale de înaltă calitate cu rezultate consistente. Ai încredere în soluțiile noastre inovatoare pentru a -ți îmbunătăți metoda PVT -ul procesului de creștere a cristalelor SIC și pentru a obține rezultate excelente. Bine ați venit să ne întrebați.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Partea de schimb de acoperire TAC

Acoperirea TAC este utilizată în prezent în principal în procese precum creșterea cu un singur cristal cu carbură de siliciu (metoda PVT), discul epitaxial (inclusiv epitaxia carburii de siliciu, epitaxia LED), etc., combinată cu stabilitatea bună pe termen lung a plăcii de acoperire TAC, placa de acoperire TAC de veteksemicon a devenit de referință pentru piese de schimb de schimb de schimb. Așteptăm cu nerăbdare să devii partenerul nostru pe termen lung.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Gan pe receptorul EPI

GaN on Susceptor EPI joacă un rol vital în procesarea semiconductorului prin conductivitatea termică excelentă, capacitatea de procesare a temperaturii ridicate și stabilitatea chimică și asigură eficiența ridicată și calitatea materială a procesului de creștere epitaxială GAN. Vetek Semiconductor este un producător profesionist din China de GaN pe SIC EPI Susceptor, așteptăm sincer consultarea dvs. ulterioară.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

CVD TAC Carrier

Transportatorul de acoperire CVD TAC este proiectat în principal pentru procesul epitaxial de fabricație a semiconductorilor. CVD TAC Coating Carrier punctul ultra-ridicat, rezistența excelentă la coroziune și stabilitatea termică remarcabilă determină indispensabilitatea acestui produs în procesul epitaxial semiconductor. Bine ați venit la ancheta dvs. ulterioară.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Suport de grafit acoperit cu TAC

Susceptorul de grafit acoperit TAC Vetek Semiconductor folosește metoda de depunere a vaporilor chimici (CVD) pentru a pregăti acoperirea cu carbură de tantal pe suprafața pieselor de grafit. Acest proces este cel mai matur și are cele mai bune proprietăți de acoperire. Susceptorul de grafit acoperit TAC poate prelungi durata de viață a componentelor de grafit, poate inhiba migrarea impurităților de grafit și poate asigura calitatea epitaxiei. Așteptăm cu nerăbdare ancheta dvs.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Subser de acoperire TAC

Vetek Semiconductor prezintă susceptitorul de acoperire TAC, cu acoperirea sa excepțională TAC, acest susceptor oferă o multitudine de avantaje care îl diferențiază de soluțiile convenționale. Integrați perfect în sistemele existente, susceptorul de acoperire TAC din Vetek Semiconductor garantează compatibilitatea și funcționarea eficientă. Performanța sa fiabilă și acoperirea TAC de înaltă calitate oferă în mod constant rezultate excepționale în procesele de epitaxie SIC. Ne-am angajat să oferim produse de calitate la prețuri competitive și așteptăm cu nerăbdare să fim partenerul dvs. pe termen lung în China.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

În calitate de profesionist Acoperire cu carbură de tantal producător și furnizor în China, avem propria noastră fabrică. Indiferent dacă aveți nevoie de servicii personalizate pentru a răspunde nevoilor specifice ale regiunii dvs. sau doriți să cumpărați avansați și durabil Acoperire cu carbură de tantal realizat în China, ne puteți lăsa un mesaj.

Cod QR

Despre noi

Produse

Contactaţi-ne

Telefon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Abordare
Drumul Wangda, strada Ziyang, județul Wuyi, orașul Jinhua, provincia Zhejiang, China

Meniul Web

Căutare produs

Limba

Ieșiți din meniu

Acoperire cu carbură de tantal

Caracteristici cheie:

Aplicații:

Acoperire cu carbură de tantal (TaC) pe o secțiune transversală microscopică:

Parametrul acoperirii cu carbură de tantal VeTek Semiconductor:

Date EDX de acoperire TaC：

Datele structurii cristalului de acoperire cu TaC:

Tub de acoperire TAC

Partea de schimb de acoperire TAC

Gan pe receptorul EPI

CVD TAC Carrier

Suport de grafit acoperit cu TAC

Subser de acoperire TAC

Trimite o anchetă

Cod QR

Despre noi

Produse

Contactaţi-ne

Telefon

Fax

E-mail

Abordare