Acoperire cu carbură de tantal

VeTek semiconductor este un producător de frunte de materiale de acoperire cu carbură de tantal pentru industria semiconductoarelor. Principalele noastre oferte de produse includ piese de acoperire cu carbură de tantal CVD, piese de acoperire TaC sinterizate pentru creșterea cristalelor de SiC sau proces de epitaxie a semiconductorilor. A trecut ISO9001, VeTek Semiconductor are un control bun asupra calității. VeTek Semiconductor este dedicat să devină inovator în industria acoperirii cu carbură de tantal prin cercetarea și dezvoltarea continuă a tehnologiilor iterative.

Principalele produse suntInel de ghidare acoperit cu TaC, Inel de ghidare cu trei petale acoperit cu CVD TaC, Carbură de tantal TaC acoperit Halfmoon, CVD TaC acoperire susceptor epitaxial planetar SiC, Inel de acoperire cu carbură de tantal, Grafit poros acoperit cu carbură de tantal, Susceptor de rotație a acoperirii TaC, Inel din carbură de tantal, Placă de rotație a acoperirii TaC, Susceptor de plachetă acoperit cu TaC, Inel deflector acoperit cu TaC, Capac de acoperire CVD TaC, Mandrină acoperită cu TaCetc., puritatea este sub 5 ppm, poate satisface cerințele clienților.

Grafitul de acoperire cu TaC este creat prin acoperirea suprafeței unui substrat de grafit de înaltă puritate cu un strat fin de carbură de tantal printr-un proces brevetat de depunere chimică în vapori (CVD). Avantajul este prezentat în imaginea de mai jos:

Excellent properties of TaC coating graphite

Acoperirea cu carbură de tantal (TaC) a atras atenția datorită punctului său de topire ridicat de până la 3880°C, rezistenței mecanice excelente, durității și rezistenței la șocuri termice, făcându-l o alternativă atractivă la procesele de epitaxie cu semiconductor compus cu cerințe de temperatură mai ridicate, cum ar fi sistemul Aixtron MOCVD și procesul de epitaxie LPE SiC. Are, de asemenea, o aplicație largă în procesul de creștere a cristalelor din metoda PVT SiC.

Caracteristici cheie:

●Stabilitatea temperaturii

●Puritate ultra înaltă

●Rezistenta la H2, NH3, SiH4, Si

●Rezistenta la stoc termic

●Aderență puternică la grafit

●Acoperire de acoperire conformă

● Dimensiune până la 750 mm diametru (Singurul producător din China atinge această dimensiune)

Aplicații:

●Purtător de napolitane

● Susceptor de încălzire inductiv

● Element de încălzire rezistiv

●Disc satelit

●Cap de dus

●Inel de ghidare

●Receptor LED Epi

●Duza de injectie

●Inel de mascare

● Scut termic

Acoperire cu carbură de tantal (TaC) pe o secțiune transversală microscopică:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parametrul acoperirii cu carbură de tantal VeTek Semiconductor:

Proprietățile fizice ale acoperirii cu TaC
Densitate	14,3 (g/cm³)
Emisivitate specifică	0.3
Coeficientul de dilatare termică	6.3 10^-6/K
Duritate (HK)	2000 HK
Rezistenţă	1×10^-5Ohm*cm
Stabilitate termică	<2500℃
Dimensiunea grafitului se modifică	-10~-20um
Grosimea acoperirii	≥20um valoare tipică (35um±10um)

Date EDX de acoperire TaC：

EDX data of TaC coating

Datele structurii cristalului de acoperire cu TaC:

Element	Procent atomic
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Medie
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

Mandrina de acoperire TaC TaC acoperire disc planetar
Placă acoperită cu TaC Placă de rotație a acoperirii TaC Receptor de acoperire TaC Acoperire cu acoperire CVD TaC Inel de acoperire CVD TaC Placă de acoperire TaC

View as

Susceptor de rotație de acoperire TAC

În calitate de producător profesionist, inovator și lider al produselor susceptatoare de rotație TAC din China. Susceptorul de rotație de acoperire TAC Vetek cu semiconductor TAC este de obicei instalat în depunerea de vapori chimici (CVD) și echipamente de epitaxie cu fascicul molecular (MBE) pentru a sprijini și roti napolitane pentru a asigura depunerea uniformă a materialului și reacția eficientă. Este o componentă cheie în procesarea semiconductorilor. Bine ați venit la consultarea dvs. ulterioară.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

CVD TAC Acoperirea creuzetului

Vetek Semiconductor este un producător profesionist și lider al produselor creuzești de acoperire CVD TAC din China. Creuzetul de acoperire CVD TAC se bazează pe acoperirea cu carbon tantal (TAC). Acoperirea de carbon cu tantal este acoperită uniform pe suprafața creuzetului prin procesul de depunere a vaporilor chimici (CVD) pentru a -i îmbunătăți rezistența la căldură și rezistența la coroziune. Este un instrument material special utilizat în medii extreme la temperaturi ridicate. Bine ați venit la consultarea dvs. ulterioară.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

CVD TAC Coating Wafer Carrier

În calitate de producător și fabrică profesională de produse de acoperire a navelor de navigare CVD TAC din China, Vetek Semiconductor CVD TAC Coating Wafer Carrier este un instrument de transport de placă special conceput pentru medii de temperatură ridicată și corozivă la fabricarea semiconductorilor. și purtătorul de nave de acoperire TAC CVD are o rezistență mecanică ridicată, rezistență excelentă la coroziune și stabilitate termică, oferind garanția necesară pentru fabricarea de dispozitive semiconductoare de înaltă calitate. Întrebările dvs. suplimentare sunt binevenite.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Încălzitor de acoperire TAC

Încălzitorul de acoperire TAC cu semiconductor Vetek are un punct de topire extrem de ridicat (aproximativ 3880 ° C). Punctul de topire ridicat îi permite să funcționeze la temperaturi extrem de ridicate, în special în creșterea straturilor epitaxiale de nitrură de galiu (GAN) în procesul de depunere de vapori chimici organici metalici (MOCVD). Vetek Semiconductor se angajează să ofere clienților soluții de produse personalizate. Așteptăm cu nerăbdare să auzim de la tine.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Acoperire CVD TAC

VeTek Semiconductor este producătorul de produse de acoperire CVD TAC lider din China. De mulți ani, ne-am concentrat pe diverse produse de acoperire CVD TAC, cum ar fi capacul de acoperire CVD TaC, inelul de acoperire CVD TaC. VeTek Semiconductor acceptă servicii de produse personalizate și prețuri satisfăcătoare ale produselor și așteaptă cu nerăbdare consultarea dumneavoastră ulterioară.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

TAC a acoperit Chuck

Cu rezistența sa la temperatură ridicată, inerția chimică și performanțele excelente, mandaturile acoperite cu TAC de la Vetek Semiconductor sunt proiectate pentru cuptoarele cu semiconductor. Considerăm că produsele noastre vă pot aduce tehnologie avansată și soluții de produse de calitate.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

În calitate de profesionist Acoperire cu carbură de tantal producător și furnizor în China, avem propria noastră fabrică. Indiferent dacă aveți nevoie de servicii personalizate pentru a răspunde nevoilor specifice ale regiunii dvs. sau doriți să cumpărați avansați și durabil Acoperire cu carbură de tantal realizat în China, ne puteți lăsa un mesaj.

Cod QR

Despre noi

Produse

Contactaţi-ne

Telefon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Abordare
Drumul Wangda, strada Ziyang, județul Wuyi, orașul Jinhua, provincia Zhejiang, China

Meniul Web

Căutare produs

Limba

Ieșiți din meniu

Acoperire cu carbură de tantal

Caracteristici cheie:

Aplicații:

Acoperire cu carbură de tantal (TaC) pe o secțiune transversală microscopică:

Parametrul acoperirii cu carbură de tantal VeTek Semiconductor:

Date EDX de acoperire TaC：

Datele structurii cristalului de acoperire cu TaC:

Susceptor de rotație de acoperire TAC

CVD TAC Acoperirea creuzetului

CVD TAC Coating Wafer Carrier

Încălzitor de acoperire TAC

Acoperire CVD TAC

TAC a acoperit Chuck

Trimite o anchetă

Cod QR

Despre noi

Produse

Contactaţi-ne

Telefon

Fax

E-mail

Abordare