Acoperire cu carbură de tantal

VeTek semiconductor este un producător de frunte de materiale de acoperire cu carbură de tantal pentru industria semiconductoarelor. Principalele noastre oferte de produse includ piese de acoperire cu carbură de tantal CVD, piese de acoperire TaC sinterizate pentru creșterea cristalelor de SiC sau proces de epitaxie a semiconductorilor. A trecut ISO9001, VeTek Semiconductor are un control bun asupra calității. VeTek Semiconductor este dedicat să devină inovator în industria acoperirii cu carbură de tantal prin cercetarea și dezvoltarea continuă a tehnologiilor iterative.

Principalele produse suntInel de ghidare acoperit cu TaC, Inel de ghidare cu trei petale acoperit cu CVD TaC, Carbură de tantal TaC acoperit Halfmoon, CVD TaC acoperire susceptor epitaxial planetar SiC, Inel de acoperire cu carbură de tantal, Grafit poros acoperit cu carbură de tantal, Susceptor de rotație a acoperirii TaC, Inel din carbură de tantal, Placă de rotație a acoperirii TaC, Susceptor de plachetă acoperit cu TaC, Inel deflector acoperit cu TaC, Capac de acoperire CVD TaC, Mandrină acoperită cu TaCetc., puritatea este sub 5 ppm, poate satisface cerințele clienților.

Grafitul de acoperire cu TaC este creat prin acoperirea suprafeței unui substrat de grafit de înaltă puritate cu un strat fin de carbură de tantal printr-un proces brevetat de depunere chimică în vapori (CVD). Avantajul este prezentat în imaginea de mai jos:

Excellent properties of TaC coating graphite

Acoperirea cu carbură de tantal (TaC) a atras atenția datorită punctului său de topire ridicat de până la 3880°C, rezistenței mecanice excelente, durității și rezistenței la șocuri termice, făcându-l o alternativă atractivă la procesele de epitaxie cu semiconductor compus cu cerințe de temperatură mai ridicate, cum ar fi sistemul Aixtron MOCVD și procesul de epitaxie LPE SiC. Are, de asemenea, o aplicație largă în procesul de creștere a cristalelor din metoda PVT SiC.

Caracteristici cheie:

●Stabilitatea temperaturii

●Puritate ultra înaltă

●Rezistenta la H2, NH3, SiH4, Si

●Rezistenta la stoc termic

●Aderență puternică la grafit

●Acoperire de acoperire conformă

● Dimensiune până la 750 mm diametru (Singurul producător din China atinge această dimensiune)

Aplicații:

●Purtător de napolitane

● Susceptor de încălzire inductiv

● Element de încălzire rezistiv

●Disc satelit

●Cap de dus

●Inel de ghidare

●Receptor LED Epi

●Duza de injectie

●Inel de mascare

● Scut termic

Acoperire cu carbură de tantal (TaC) pe o secțiune transversală microscopică:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parametrul acoperirii cu carbură de tantal VeTek Semiconductor:

Proprietățile fizice ale acoperirii cu TaC
Densitate	14,3 (g/cm³)
Emisivitate specifică	0.3
Coeficientul de dilatare termică	6.3 10^-6/K
Duritate (HK)	2000 HK
Rezistenţă	1×10^-5Ohm*cm
Stabilitate termică	<2500℃
Dimensiunea grafitului se modifică	-10~-20um
Grosimea acoperirii	≥20um valoare tipică (35um±10um)

Date EDX de acoperire TaC：

EDX data of TaC coating

Datele structurii cristalului de acoperire cu TaC:

Element	Procent atomic
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Medie
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

Mandrina de acoperire TaC TaC acoperire disc planetar
Placă acoperită cu TaC Placă de rotație a acoperirii TaC Receptor de acoperire TaC Acoperire cu acoperire CVD TaC Inel de acoperire CVD TaC Placă de acoperire TaC

View as

Inel acoperit cu carbură tantal

În calitate de inovator profesionist și lider al produselor cu inel acoperit cu carbură de tantal din China, inelul acoperit cu carbură de carbură cu semiconductor Vetek joacă un rol de neînlocuit în creșterea cristalului SIC, cu rezistența sa excelentă la temperatură ridicată, rezistența la uzură și o conductivitate termică excelentă. Bine ați venit la consultarea dvs. ulterioară.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Carbură poroasă cu tantal

Vetek Semiconductor este un producător profesionist și lider al produselor poroase de carbură cu tantalum din China. Carbura de tantalum poros este de obicei fabricată prin metoda de depunere a vaporilor chimici (CVD), asigurând un control precis al dimensiunii și distribuției porilor și este un instrument material dedicat mediilor extreme la temperaturi ridicate. Bine ați venit la consultarea dvs. ulterioară.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Inel de ghidare a acoperirii TaC

Inelul de ghidare a acoperirii TAC de la Vetek Semiconductor este creat prin aplicarea acoperirii cu carbură de tantalum pe piese de grafit folosind o tehnică extrem de avansată numită Depunere de vapori chimici (CVD). Această metodă este bine stabilită și oferă proprietăți de acoperire excepționale. Prin utilizarea inelului de ghidare a acoperirii TAC, durata de viață a componentelor de grafit poate fi extinsă semnificativ, mișcarea impurităților de grafit poate fi suprimată, iar calitatea SIC și AIN unică cristal poate fi menținută în mod fiabil. Bine ați venit la întrebarea noastră.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Inel de carbură de tantalum

În calitate de producător avansat și producător de produse cu inel din carbură Tantalum din China, inelul de carbură de carbură cu semiconductor Vetek are o duritate extrem de ridicată, rezistență la uzură, rezistență la temperatură ridicată și stabilitate chimică și este utilizat pe scară largă în câmpul de fabricație a semiconductorilor. În special în CVD, PVD, procesul de implantare ionică, procesul de gravare și procesarea și transportul plafonului, este un produs indispensabil pentru procesarea și fabricarea semiconductorilor. Aștept cu nerăbdare consultarea dvs. ulterioară.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Suport de acoperire a carburii tantalum

În calitate de producător și fabrică profesională de acoperire a carburilor de tantalum în China, Vetek Semiconductor Tantalum Carbide de acoperire este de obicei utilizat pentru acoperirea de suprafață a componentelor structurale sau a componentelor de asistență în echipamentele semiconductoare, în special pentru protecția suprafeței componentelor cheie ale echipamentelor în procesele de fabricație semiconductoare, cum ar fi CVD și PVD. Bine ați venit la consultarea dvs. ulterioară.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Inel de ghidare a carburii tantalum

Vetek Semiconductor este un producător profesionist și lider al produselor de ghidare a carburilor Tantalum din China. Inelul nostru de ghidare a carburii de tantalum (TAC) este o componentă inel de înaltă performanță realizată din carbură de tantalum, care este utilizată în mod obișnuit în echipamentele de procesare a semiconductorului, în special în medii cu temperaturi ridicate și extrem de corozive, cum ar fi CVD, PVD, gravură și difuzie. Vetek Semiconductor se angajează să ofere soluții avansate de tehnologie și produse pentru industria semiconductorilor și vă salută anchetele suplimentare.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

În calitate de profesionist Acoperire cu carbură de tantal producător și furnizor în China, avem propria noastră fabrică. Indiferent dacă aveți nevoie de servicii personalizate pentru a răspunde nevoilor specifice ale regiunii dvs. sau doriți să cumpărați avansați și durabil Acoperire cu carbură de tantal realizat în China, ne puteți lăsa un mesaj.

Cod QR

Despre noi

Produse

Contactaţi-ne

Telefon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Abordare
Drumul Wangda, strada Ziyang, județul Wuyi, orașul Jinhua, provincia Zhejiang, China

Meniul Web

Căutare produs

Limba

Ieșiți din meniu

Acoperire cu carbură de tantal

Caracteristici cheie:

Aplicații:

Acoperire cu carbură de tantal (TaC) pe o secțiune transversală microscopică:

Parametrul acoperirii cu carbură de tantal VeTek Semiconductor:

Date EDX de acoperire TaC：

Datele structurii cristalului de acoperire cu TaC:

Inel acoperit cu carbură tantal

Carbură poroasă cu tantal

Inel de ghidare a acoperirii TaC

Inel de carbură de tantalum

Suport de acoperire a carburii tantalum

Inel de ghidare a carburii tantalum

Trimite o anchetă

Cod QR

Despre noi

Produse

Contactaţi-ne

Telefon

Fax

E-mail

Abordare