Susceptor de grafit acoperit cu CVD SiC pentru purtător de napolitane

1. Avantajele produsului

• Material de înaltă puritate:Materialul de grafit de calitate semiconductoare și structura densă de acoperire SiC minimizează riscurile de contaminare și îmbunătățesc fiabilitatea susceptorului de grafit acoperit cu CVD SiC.
• O uniformitate termică excelentă:Structura optimizată din grafit și acoperirea cu SiC asigură un transfer de căldură stabil și un control uniform al temperaturii plachetei.
• Rezistență chimică superioară:Acoperirea densă SiC oferă o rezistență puternică împotriva gazelor de proces și a mediilor corozive.
• Durată lungă de viață:Duritatea ridicată și rezistența la uzură îmbunătățesc durabilitatea în condiții de epitaxie la temperatură ridicată.
• Generare scăzută de particule:Suprafața densă CVD SiC reduce eliberarea particulelor și îmbunătățește fiabilitatea procesului de plachetă.
• Capacitate de proiectare personalizată:Disponibil în diferite dimensiuni, structuri și configurații în funcție de cerințele echipamentelor.

2. Specificații tehnice

3. Aplicații

• Procesul de epitaxie SiC:Susceptorul de grafit este utilizat ca purtător de placă în echipamentele de epitaxie SiC, susținând substraturi de SiC în timpul creșterii epitaxiale la temperatură înaltă.
• Procesul de epitaxie cu siliciu:Aplicat în reactoare epitaxiale de siliciu pentru susținerea plachetelor și menținerea unor condiții termice stabile.
• Epitaxie MOCVD:Susceptorii de grafit VETEK sunt potriviți pentru MOCVD, epitaxie LED, epitaxie GaN, epitaxie de siliciu și alte procese de fabricație a semiconductorilor care necesită uniformitate termică excelentă și stabilitate chimică.
• Echipamente de fabricare a semiconductorilor:Compatibil cu diverse platforme de epitaxie, inclusiv cuptoare orizontale LPE, Aixtron, NuFlare și echipamente semiconductoare aferente.

4. De ce să alegeți VETEK?

VETEK oferă soluții personalizate de susceptori de grafit acoperit cu CVD SiC care integrează purificarea grafitului, prelucrarea de precizie, acoperirea CVD și capabilitățile de inspecție. Produsele noastre de susceptoare de grafit de calitate semiconductoare prezintă puritate ridicată, grosime uniformă a stratului, performanță termică excelentă și durată lungă de viață pentru aplicații solicitante de purtător de plachete.