Carbură de siliciu CVD (SiC) acoperit cu grafit RTP RTA Carrier

Caracteristicile produsului

· Echipament de bază:Proiectat pentru sisteme de recoacere termică rapidă (RTA) și procesare termică rapidă (RTP).

· Primary Aaplicatie: optimizat pentru procesele de recoacere a plachetelor semiconductoare.

· operating Tetemperatura:Funcționare stabilă de la 200°C până la 700°C.

· Excelent TherUniformitate mal: Asigură o distribuție uniformă a căldurii pentru o procesare consistentă a plachetelor.

· Particule scăzuteGgenerare: Acoperirea densă CVD SiC minimizează contaminarea și îmbunătățește randamentul producției.

· Rezistență chimică superioară:Rezistent la oxidare și la gazele de proces corozive în timpul procesării termice.

· Remarcabilg ThermRezistență la șoc: Menține integritatea structurală prin cicluri repetate de încălzire și răcire rapide.

· Durată lungă de viață:Acoperirea SiC rezistentă la uzură prelungește semnificativ durata de viață a componentelor și reduce costurile de întreținere.

· PersonalizatFabricare:Disponibil în diferite dimensiuni și configurații pentru a se potrivi cu diferite echipamente RTP/RTA.

Specificatii tehnice

Aplicații

·Recoacere termică rapidă (RTA)

· Procesare termică rapidă (RTP)

· Recoacerea napolitanelor de siliciu

· Activarea dopantului

· Oxidare

· Difuzie

·Fabricarea semiconductoarelor compuse

·Fabricarea MEMS

·Procesarea semiconductoarelor de putere

FAQ

1. Ce este un operator RTP/RTA?

Un transportator RTP/RTA este o componentă suport pentru plachetă utilizată în sistemele de procesare termică rapidă și de recoacere termică rapidă. Ține în siguranță plăcile semiconductoare, oferind în același timp un transfer uniform de căldură pe tot parcursul ciclului termic.

2. De ce este preferată acoperirea CVD SiC?

În comparație cu grafitul gol, acoperirea CVD SiC oferă rezistență superioară la oxidare, generare mai mică de particule, stabilitate chimică mai bună și durată de viață semnificativ mai lungă.

3. Poate VETEK să ofere transportatori RTP/RTA personalizați?

Da. VETEK oferă suporturi RTP/RTA personalizate pe baza desenelor clienților.