Acoperire cu carbură de tantal

VeTek semiconductor este un producător de frunte de materiale de acoperire cu carbură de tantal pentru industria semiconductoarelor. Principalele noastre oferte de produse includ piese de acoperire cu carbură de tantal CVD, piese de acoperire TaC sinterizate pentru creșterea cristalelor de SiC sau proces de epitaxie a semiconductorilor. A trecut ISO9001, VeTek Semiconductor are un control bun asupra calității. VeTek Semiconductor este dedicat să devină inovator în industria acoperirii cu carbură de tantal prin cercetarea și dezvoltarea continuă a tehnologiilor iterative.

Principalele produse suntInel de ghidare acoperit cu TaC, Inel de ghidare cu trei petale acoperit cu CVD TaC, Carbură de tantal TaC acoperit Halfmoon, CVD TaC acoperire susceptor epitaxial planetar SiC, Inel de acoperire cu carbură de tantal, Grafit poros acoperit cu carbură de tantal, Susceptor de rotație a acoperirii TaC, Inel din carbură de tantal, Placă de rotație a acoperirii TaC, Susceptor de plachetă acoperit cu TaC, Inel deflector acoperit cu TaC, Capac de acoperire CVD TaC, Mandrină acoperită cu TaCetc., puritatea este sub 5 ppm, poate satisface cerințele clienților.

Grafitul de acoperire cu TaC este creat prin acoperirea suprafeței unui substrat de grafit de înaltă puritate cu un strat fin de carbură de tantal printr-un proces brevetat de depunere chimică în vapori (CVD). Avantajul este prezentat în imaginea de mai jos:

Excellent properties of TaC coating graphite

Acoperirea cu carbură de tantal (TaC) a atras atenția datorită punctului său de topire ridicat de până la 3880°C, rezistenței mecanice excelente, durității și rezistenței la șocuri termice, făcându-l o alternativă atractivă la procesele de epitaxie cu semiconductor compus cu cerințe de temperatură mai ridicate, cum ar fi sistemul Aixtron MOCVD și procesul de epitaxie LPE SiC. Are, de asemenea, o aplicație largă în procesul de creștere a cristalelor din metoda PVT SiC.

Caracteristici cheie:

●Stabilitatea temperaturii

●Puritate ultra înaltă

●Rezistenta la H2, NH3, SiH4, Si

●Rezistenta la stoc termic

●Aderență puternică la grafit

●Acoperire de acoperire conformă

● Dimensiune până la 750 mm diametru (Singurul producător din China atinge această dimensiune)

Aplicații:

●Purtător de napolitane

● Susceptor de încălzire inductiv

● Element de încălzire rezistiv

●Disc satelit

●Cap de dus

●Inel de ghidare

●Receptor LED Epi

●Duza de injectie

●Inel de mascare

● Scut termic

Acoperire cu carbură de tantal (TaC) pe o secțiune transversală microscopică:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parametrul acoperirii cu carbură de tantal VeTek Semiconductor:

Proprietățile fizice ale acoperirii cu TaC
Densitate	14,3 (g/cm³)
Emisivitate specifică	0.3
Coeficientul de dilatare termică	6.3 10^-6/K
Duritate (HK)	2000 HK
Rezistenţă	1×10^-5Ohm*cm
Stabilitate termică	<2500℃
Dimensiunea grafitului se modifică	-10~-20um
Grosimea acoperirii	≥20um valoare tipică (35um±10um)

Date EDX de acoperire TaC：

EDX data of TaC coating

Datele structurii cristalului de acoperire cu TaC:

Element	Procent atomic
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Medie
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

Mandrina de acoperire TaC TaC acoperire disc planetar
Placă acoperită cu TaC Placă de rotație a acoperirii TaC Receptor de acoperire TaC Acoperire cu acoperire CVD TaC Inel de acoperire CVD TaC Placă de acoperire TaC

View as

Placă de rotație a acoperirii TAC

Placa de rotație de acoperire TAC produsă de Vetek Semiconductor se mândrește cu o acoperire TAC excepțională, cu acoperirea sa excepțională TAC, placa de rotație TAC de acoperire are o rezistență remarcabilă la temperatură ridicată și inerție chimică, ceea ce o diferențiază de soluțiile tradiționale.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Placă de acoperire TAC

Proiectată cu precizie și proiectată la perfecțiune, placa de acoperire TAC a Vetek Semiconductor este adaptată special pentru diverse aplicații în procesele de creștere a unui singur cristal cu carbură de siliciu (SIC). Performanța sa fiabilă și acoperirea de înaltă calitate contribuie la rezultate consistente și uniforme în aplicații de creștere a cristalelor SIC. Ne-am angajat să oferim produse de calitate la prețuri competitive și așteptăm cu nerăbdare să fim partenerul dvs. pe termen lung în China.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Husa de acoperire CVD TAC

Acoperirea de acoperire TAC CVD oferită de Vetek Semiconductor este o componentă extrem de specializată concepută special pentru aplicații solicitante. Cu caracteristicile sale avansate și performanțele excepționale, acoperirea noastră de acoperire CVD TAC oferă mai multe avantaje cheie. Coperta noastră de acoperire a CVD TAC oferă protecția și performanța necesară necesară pentru succes. Așteptăm cu nerăbdare să explorăm potențialul cooperare cu dvs.!

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

TAC Acoperire Planetar Susceptor

Susceptorul planetar de acoperire TAC este un produs excepțional pentru echipamentele de epitaxie aixtron. Acoperirea TAC a Vetek Semiconductor oferă o rezistență excelentă la temperatură ridicată și inerime chimică. Această combinație unică asigură o performanță fiabilă și o durată de viață lungă, chiar și în medii solicitante. Vetek se angajează să ofere produse de înaltă calitate și să servească ca partener pe termen lung pe piața chineză cu prețuri competitive.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Placă de susținere a piedestalului de acoperire TAC

Acoperirea TAC poate rezista la temperaturi ridicate de 2200 ℃. Vetek Semiconductor oferă o acoperire TAC de înaltă puritate cu impurități sub 5 ppm în China. Placa de susținere a piedestalului de acoperire TAC este capabilă să reziste la amoniac hidrogen, argonină în camera de reacție a dispozitivului epitaxial. Îmbunătățește durata de viață a produsului. Oferiți cerințele, oferim personalizare.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

TAC Acoperirea Chuck

Ciorala TAC de la Vetek Semiconductor prezintă o acoperire de înaltă calitate a suprafeței, cunoscută pentru rezistența sa remarcabilă la temperatură și inerția chimică, în special în procesele de epitaxie din carbură de siliciu (SIC) (EPI). Cu caracteristicile sale excepționale și performanțele superioare, Chuck-ul nostru de acoperire TAC oferă mai multe avantaje cheie. Ne-am angajat să oferim produse de calitate la prețuri competitive și așteptăm cu nerăbdare să fim partenerul dvs. pe termen lung în China.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

În calitate de profesionist Acoperire cu carbură de tantal producător și furnizor în China, avem propria noastră fabrică. Indiferent dacă aveți nevoie de servicii personalizate pentru a răspunde nevoilor specifice ale regiunii dvs. sau doriți să cumpărați avansați și durabil Acoperire cu carbură de tantal realizat în China, ne puteți lăsa un mesaj.

Cod QR

Despre noi

Produse

Contactaţi-ne

Telefon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Abordare
Drumul Wangda, strada Ziyang, județul Wuyi, orașul Jinhua, provincia Zhejiang, China

Meniul Web

Căutare produs

Limba

Ieșiți din meniu

Acoperire cu carbură de tantal

Caracteristici cheie:

Aplicații:

Acoperire cu carbură de tantal (TaC) pe o secțiune transversală microscopică:

Parametrul acoperirii cu carbură de tantal VeTek Semiconductor:

Date EDX de acoperire TaC：

Datele structurii cristalului de acoperire cu TaC:

Placă de rotație a acoperirii TAC

Placă de acoperire TAC

Husa de acoperire CVD TAC

TAC Acoperire Planetar Susceptor

Placă de susținere a piedestalului de acoperire TAC

TAC Acoperirea Chuck

Trimite o anchetă

Cod QR

Despre noi

Produse

Contactaţi-ne

Telefon

Fax

E-mail

Abordare